現(xiàn)在人們對高技術(shù)談?wù)撟疃嗟哪^于MEMS-微電子機(jī)械系統(tǒng).MEMS實(shí)際上意味著一種能力,即利用IC技術(shù)研制可控的、機(jī)械式可動(dòng)結(jié)構(gòu).目前該項(xiàng)技術(shù)商業(yè)化最成功的例子是微機(jī)械壓力傳感器.傳感器,尤其是壓力傳感器主要用作臨界狀態(tài)監(jiān)測,確定傳感器的可行性.因此,傳感器通常有一種重要的平衡因素,即傳感器本身生產(chǎn)成本應(yīng)低于其所構(gòu)成系統(tǒng)成本幾個(gè)數(shù)量級.例如,對于一輛價(jià)值2.5萬元的汽車,為保證其燃料有效利用、降低空氣污染所使用的傳感器價(jià)格應(yīng)在10美元左右.最早的硅壓力傳感器價(jià)格昂貴,只能用于一些特殊的領(lǐng)域如航空,而在近十年,硅微機(jī)械加工生產(chǎn)技術(shù)的進(jìn)步開辟了許多新的低成本市場.